利用开槽天线微波源的ECR等离子体源  

作　　者：楚山 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1996年第4期9-10,共2页

关 键 词：电子回旋共振 等离子体源 微波加热 

分 类 号：O531[理学—等离子体物理]