射频溅射技术在ISFEET中的应用  

作　　者：祁增芳 牛成 

出　　处：《半导体杂志》1989年第4期33-33,16,共2页

关 键 词：射频溅射 ISFET 

分 类 号：TN386.6[电子电信—物理电子学]