高精度自动聚焦平行光X射线波谱仪  

Information on the new instrument

作　　者：谭立和 

出　　处：《电子显微学报》2005年第5期540-540,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：X射线谱仪 自动聚焦 波谱仪 平行光 高精度 扫描电子显微镜 扫描电镜 波长色散 微观分析 

分 类 号：TH841[机械工程—仪器科学与技术]