西格玛光机直描装置采用飞秒激光器  

出　　处：《光机电信息》2005年第11期37-38,共2页OME Information

摘　　要：西格玛光机研制成功了一种配备飞秒激光器的直描装置。除可用于液晶面板的玻璃底板的微加工外，还可用于光导波路及微流路的形成等工艺中。

关 键 词：飞秒激光器 装置 研制成功 玻璃底板 液晶面板 微加工 微流路 光导波 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学] TQ325.3[化学工程—合成树脂塑料工业]