MEMS技术应用于加速度传感器高频继电器  

Acceleration sensors and high-frequency relay using MEMS technology

作　　者：姚琳 

出　　处：《今日电子》2005年第11期32-32,共1页Electronic Products

关 键 词：加速度传感器 MEMS技术 继电器 技术应用 高频 松下电工 数字设备 超小型 车载 

分 类 号：TN948.4[电子电信—信号与信息处理] TP212[电子电信—信息与通信工程]