母盘刻录技术新进展  

Recent development in disk mastering technology

作　　者：蒋培军[1] 范晓东[1] 钱坤[1] 徐端颐[1] 齐国生[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心,北京100084

出　　处：《光学技术》2005年第6期822-826,共5页Optical Technique

基　　金：973国家重点基础研究规划资助项目(G19990330)

摘　　要：介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展。指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景。Disk mastering is the process of making the stamper for disk molding. It is the core technology in disk replications. Key technologies of disk mastering are introduced. Its research fields and their recent developments are surveyed. Practical application of current technologies in next generation mastering is anticipated.

关 键 词：母盘刻录 电子束 近场 超分辨技术 直接母盘刻录系统 

分 类 号：TP333.4[自动化与计算机技术—计算机系统结构]