蒋培军

作品数：9被引量：62H指数：4
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供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文主题：母盘刻录光刻系统阵列式集成电路电路图形更多>>
发文领域：自动化与计算机技术化学工程电子电信航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《物理学报》《电子工业专用设备》《电子技术应用》更多>>
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浸没式阵列激光扫描直写光刻被引量：1
《电子工业专用设备》2008年第10期1-9,共9页徐端颐 范晓冬 蒋培军 齐国生 
介绍一种以显微镜结构为基础的浸没式阵列激光扫描直写光刻系统的光路结构、有效焦深、自动调焦及曝光能量控制的原理和方法。实验系统的有效数值孔径(ENA)为1.83,使用的激光波长为355nm时,在实验室条件下得到的最细线条宽度为65nm。
关键词：阵列激光扫描 浸没式镜头 直写光刻 
母盘刻录技术新进展
《光学技术》2005年第6期822-826,共5页蒋培军 范晓东 钱坤 徐端颐 齐国生 
973国家重点基础研究规划资助项目(G19990330)
介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展。指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景。
关键词：母盘刻录 电子束 近场 超分辨技术 直接母盘刻录系统 
用于高密度母盘刻录的二级定位方法被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2005年第2期163-165,169,共4页沈全洪 蒋培军 齐国生 徐端颐 李庆祥 
国家"九七三"重点基础研究项目(G19990330)
为了满足高密度母盘刻录的需要,对母盘刻录中的二级定位(two-stagepositioning)方法进行了研究,采用了直流电机驱动粗定位和压电陶瓷微型驱动精定位相结合的方式。使用双频激光干涉仪检测精定位工作台的位置,并引入比例增益K估计精定位...
关键词：母盘刻录 二级定位 压电陶瓷驱动器 PID 仿真 
用于高密度母盘刻录系统的专用运动控制卡的研究被引量：1
《电子技术应用》2005年第1期30-32,35,共4页蒋培军 沈全洪 李晟 李庆祥 
介绍了研制的用于高密度母盘刻录系统的专用运动控制卡。该运动控制卡基于DSP中心处理器和CPLD逻辑处理器模块而设计,实现了母盘刻录运动控制的快速性和高精度,能够很好地满足母盘刻录机运动控制的需要。
关键词：母盘刻录 运动控制卡 逻辑处理器 系统 快速性 CPLD DSP 专用 高密度 研究 
高精密伺服转台控制系统的设计被引量：33
《清华大学学报（自然科学版）》2004年第8期1054-1056,共3页黄令龙 郭阳宽 蒋培军 李晟 李庆祥 陈张玮 
该文设计并研制了高精密伺服转台的控制系统。该控制系统采用圆光栅作为转台位移检测工具,采用了数字位置环和模拟电流环共同组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明,该转台运...
关键词：导航系统 高精密伺服转台 前馈控制 圆光栅 
微进给工作台伺服控制技术被引量：3
《清华大学学报（自然科学版）》2004年第5期657-660,共4页蒋培军 齐国生 徐端颐 李庆祥 范晓东 钱坤 
国家"九七三"重点基础研究项目(G19990330)
为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分(PID)伺服滤波器实现位移控制。经实验方法测定,系统摩擦可以近似为Coulomb摩擦加Stribeck效应...
关键词：机电一体化 精密工作台 前馈控制 摩擦补偿 微进给工作台 伺服控制 母盘刻录系统 
光致变色二芳基乙烯多波长光存储研究被引量：14
《物理学报》2004年第4期1076-1080,共5页齐国生 肖家曦 刘嵘 蒋培军 佘鹏 徐端颐 
国家重点基础研究发展规划 (批准号 :G1 9990 330 )资助的课题~~
多波长光致变色存储是基于光致变色原理的一种高容量光存储方法 .介绍了多波长光存储的存储原理、系统构成和光盘结构 .利用三波长光致变色存储实验装置 ,进行了三波长光致变色存储的实验 .结果显示 ,实验中采用的三种光致变色材料可用...
关键词：光致变色 二芳基乙烯 多波长 光存储 串扰 光学记录材料 
高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究被引量：5
《电子技术应用》2003年第12期34-37,共4页沈全洪 齐国生 徐端颐 蒋培军 
研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DSP数字闭环控制器的基础上,通过理论建模、程序仿真和实验验证,对驱动环节进行了优化设计。在驱动环节中采用了模拟速度环、PI校正环节和线性功放,使工作台在低速下有...
关键词：母盘刻录 精密工作台 驱动环节 速度环 PI校正 母盘制造 
高精密运动工作台控制系统的设计与研究被引量：5
《光学技术》2003年第6期723-726,共4页蒋培军 齐国生 徐端颐 李庆祥 李晟 李玉和 
973国家重点基础研究规划项目资助(G19990330)
设计并研制了用于母盘刻录机的高精密运动工作台及其控制系统。工作台控制系统采用线光栅作为工作台位移检测工具。采用数字位置环和模拟电流环组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验...
关键词：母盘刻录 精密运动工作台 前馈控制 线光栅 控制系统 光存储 
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