精密工作台

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一种检测用万能精密工作台的设计
《机电工程技术》2023年第10期95-98,共4页郑立京 谢泽兵 阮毅 麦丽菊 
国家重点研发计划资助项目(2018YFB1404200)。
为解决当前发动机缸盖、轴轮、涡轮传动副、涡轮叶片、磁悬浮风机叶轮、口罩机辊模等由五轴联动加工中心一次性加工出来的形位尺寸精度高,且外形结构复杂的零部件或产品五轴全向精密检测问题,从工作原理、结构组成、实例应用验证分析等...
关键词：精密工作台 万能工作台 检测工作台 
支撑机构对工作台振动传递率的影响
《电子工业专用设备》2023年第4期52-55,共4页李龙飞 赵宏宇 关宏武 李树彦 
针对精密工作台,研究其支撑机构对振动传递率的影响。通过仿真计算的方法,对比分析了接口布局、接口刚度、支撑板模态频率及阻尼等对支撑板至工作台的振动传递率影响。结果显示,支撑板的模态频率、支撑板与工作台的接口刚度、接口布局...
关键词：精密工作台 支撑板 阻尼 模态频率 振动传递率 
直线电机原理及其在精密工作台中的应用被引量：5
《电子工业专用设备》2017年第6期70-74,共5页张乾 谭立杰 程秀全 张永昌 
激光划切机能在高速加工情况下切割LED晶圆获得干净的断裂面,形成窄而深的激光划切槽,要达到这样的工艺效果就要求激光划切工作平台同时具有较高的响应速度、准确的定位精度以及重复精度。首先对直线电机的原理进行研究,根据其外形特点...
关键词：直线电机 动力学模型 精密工作台 激光划切机 
基于平滑处理和采样补偿的工作台定位精度误差补偿法
《轻工机械》2014年第5期43-46,共4页王荣 张敏良 汲德安 田园 
精密工作台存在的机械间隙是影响工作台定位精度的重要来源。基于采样双闭环和运动平滑处理对工作台误差进行补偿,这种方法与间隙大小无关,仅在进给的终点位置读取反馈误差并实时修正,给出了对精密工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位...
关键词：精密工作台 误差补偿 采样双闭环 平滑处理 定位精度 
三轴联动精密工作台设计与分析被引量：3
《制造业自动化》2014年第3期105-108,115,共5页倪受东 盛志刚 张敏 
三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠直线导轨带动两托板在x、y两方向上微位移精密运动;以伺服电机和滚珠丝杠配合带动载物板在z方向上运动。...
关键词：精密工作台 压电陶瓷电机 分步对角线测量 误差补偿 
二维精密工作台离散点测量结果误差分离的新方法研究被引量：1
《计量学报》2014年第2期113-119,共7页郭天太 王晓晓 洪博 赵军 孔明 高思田 
国家自然科学基金（11172287）;国家重大科学仪器设备开发专项（2011YQ03011208）
针对测量结果中包含的误差，提出一种能够分离精密工作台系统误差的方法。首先利用辅助测量栅格板和二维精密工作台的不同位置进行测量，然后根据栅格板上标记点的测量数据和标称值建立误差分离的数学模型，最终实现对测量结果的误差分...
关键词：计量学 误差分离 二维精密工作台 系统误差 测量结果 标准不确定度 
数字驱动系统死区效应的双刷新补偿被引量：2
《光学精密工程》2012年第12期2712-2719,共8页王雷 王龙 唐学军 林灿发 
02科技重大专项资助项目(No.2009ZX02021);国家自然科学基金资助项目(No.50905046)
针对死区效应会导致永磁同步直线电机相电流失真、推力波动,从而限制其在精密气浮工作台等高精度、低频轻载场合应用的问题,提出了一种根据相电流极性改变驱动器输入信号脉冲宽度来补偿死区效应的方法,双刷新补偿法(DUDTC)。首先,分析...
关键词：死区补偿 永磁同步直线电机 精密工作台 电流环 
二维微动精密工作台
《科技传播》2011年第19期78-79,共2页黄瑜瑜 
二维微动精密工作台是一种高精度的测量系统,用于扫描测量被测件表面的微观形貌,在扫描测量工作中要求达到微米级的运动精度,为此建立了X-Z方向的精密运动平台,在二维测量方向上分别达到相应的测量精度要求,并对静压气浮导轨、精密滚动...
关键词：二维微动精密工作台 静压气浮导轨 模糊PID控制技术 
二维精密工作台测量系统设计被引量：2
《硅谷》2011年第17期59-60,共2页郝敏 
提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移传感器,实现非接触测量。
关键词：二维工作台 直线电机 气浮导轨 激光位移传感器 误差分析 
基于迟滞观测器的压电工作台自适应控制被引量：5
《纳米技术与精密工程》2011年第2期145-151,共7页魏强 吴顺伟 曹会国 胡承忠 李现明 
山东省教育厅科技计划资助项目(J08LJ89);泰安市科技计划资助项目(20102026);国家自然科学基金资助项目(50877046)
为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的精度和速度,设计了一种基于迟滞状态观测器的自适应控制系统.在分析压电陶瓷迟滞非线性特性和工作台结构的基础上,建立了压电工作台的动态迟滞模型.迟滞观测器用于估计由位移偏差、传递函数、迟滞变...
关键词：压电陶瓷 精密工作台 迟滞补偿 神经网络 自适应控制 
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