压电陶瓷电机

作品数：8被引量：10H指数：3
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相关领域：电气工程一般工业技术更多>>
相关作者：杨晓峰雷杨杰刘广森刘震张根明更多>>
相关机构：中国科学院清华大学复旦大学哈尔滨工业大学更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《压电与声光》《现代技术陶瓷》《制造业自动化》更多>>
相关基金：浙江省自然科学基金北京市科技新星计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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尺蠖式压电陶瓷电机的双模式驱动器开发与研究
《压电与声光》2024年第4期562-569,共8页韩硕 杨晓峰 
国家重点研发计划基金资助项目(2021YFA1200603);广东省实验室季华实验室项目资助(18002U1Z00)。
尺蠖式压电陶瓷电机具有小尺寸,长行程,纳米级定位和大推力的特性,被广泛应用于集成电路装备和精密运动平台中。然而目前受其驱动器约束,难以实现长行程运动时高精度定位、位移可控和速度可控,因而无法应用到具有高推力、高速度和长行...
关键词：尺蠖式压电陶瓷电机 双模式驱动器 滑模控制 大电压低纹波 
压电陶瓷电机驱动的三维微动定位平台及验证被引量：3
《压电与声光》2015年第6期1030-1033,共4页林海波 杨国哲 
浙江省自然科学基金资助项目(LY14E050001);浙江省2014年高等学校访问学者专业发展基金资助项目(FX2014173);2013年度浙江省高职高专院校专业带头人专业领军基金资助项目(lj2013140)
压电陶瓷电机具有高分辨率和压电驱动装置的动态特性,具有体积小、结构紧凑、成本低、输出力大、响应快、精度高、无电磁干扰等特点,但存在滞后误差、垂向位移误差,行程短的问题,尤其在电极损耗后,补偿量增大,严重影响了定位精度和难以...
关键词：压电陶瓷电机 微细加工 三维微定位 最小步进 大行程 
三轴联动精密工作台设计与分析被引量：3
《制造业自动化》2014年第3期105-108,115,共5页倪受东 盛志刚 张敏 
三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠直线导轨带动两托板在x、y两方向上微位移精密运动;以伺服电机和滚珠丝杠配合带动载物板在z方向上运动。...
关键词：精密工作台 压电陶瓷电机 分步对角线测量 误差补偿 
FTS-300快速刀具伺服系统驱动元件特性研究
《航空精密制造技术》2012年第1期5-9,共5页杜海涛 罗松保 汪亮 徐昌语 
针对FTS快速刀具伺服系统驱动元件,研究了压电陶瓷电机的静态特性和动态特性,并对其进行了试验研究,选用峰值功率大的电源放大器,可以有效缩短PZT电容的充放电时间,提高响应速度。
关键词：FTS 压电陶瓷电机 静态特性 动态特性 
谈新型驱动装置压电陶瓷电机的应用和发展被引量：1
《现代技术陶瓷》2011年第4期38-43,共6页杨忠敏 
压电陶瓷电机是利用压电陶瓷材料激发超声波实现驱动的一种新型电机,具有低速下大力矩输出、无电磁干扰、静音操作、保持力矩大、响应速度快、结构简单等特点。它打破了由电磁效应获得转速和扭矩的传统电机的概念,是当代国内外热门的高...
关键词：驱动装置 压电陶瓷电机 应用发展 
小型方柱压电陶瓷电机的设计及性能被引量：3
《稀有金属材料与工程》2009年第A02期245-248,共4页邬军飞 褚祥诚 季叶 钟亮 李龙土 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金(10676015);国家自然科学基金(50621201);国家"863"计划(2007AA03Z107);北京市科技新星计划(2006B56)资助项目
设计了一种小型方柱弯曲旋转压电超声电机,即摇头式压电陶瓷超声电机。该电机采用带圆孔的金属方柱作为电机的定子部分,并在方柱的4个垂直表面分别粘贴沿厚度方向极化的压电陶瓷片,其外形尺寸小于6mm×6mm×10mm。利用有限元分析软件AN...
关键词：超声电机 摇头式 方柱 振动模态 有限元 
压电陶瓷电机在数控齿轮测量仪器中的应用
《计量技术》2008年第7期36-38,共3页徐志伟 刘世滨 
简要介绍压电陶瓷电机的工作原理及性能,分析了压电陶瓷电机用于数控齿轮测量仪器上的优缺点,通过实际应用验证了压电陶瓷电机可以作为直线驱动系统用于齿轮测量仪器中。
关键词：压电陶瓷电机 数控齿轮测量仪器 定位精度 
基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统
《微细加工技术》2008年第3期1-4,共4页刘伟 殷伯华 
提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像,以弥补光学显微镜分辨率的不足。利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像。描述了压电陶瓷电机驱动工件台的工作原理。该工件台的定位误差小于20 nm,可使临近图像的重叠区域保持...
关键词：芯片显微拍摄 电子束控制器 压电陶瓷电机 
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