三轴联动精密工作台设计与分析  

Design and analysis of three axes precise platform

作　　者：倪受东[1] 盛志刚[1] 张敏[1] 

机构地区：[1]南京工业大学机械与动力工程学院,南京210009

出　　处：《制造业自动化》2014年第3期105-108,115,共5页Manufacturing Automation

摘　　要：三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠直线导轨带动两托板在x、y两方向上微位移精密运动;以伺服电机和滚珠丝杠配合带动载物板在z方向上运动。研究影响工作台精度的主要原因,通过误差分析与测量建立了误差补偿模型。最终验证证明,通过误差补偿工作台达到了更高的定位精度,实现了平台设计的目标。

关 键 词：精密工作台 压电陶瓷电机 分步对角线测量 误差补偿 

分 类 号：TH122[机械工程—机械设计及理论]