高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究  

作　　者：沈全洪[1] 齐国生[1] 徐端颐[1] 蒋培军[1] 

机构地区：[1]北京清华大学精密仪器与机械学系,100084

出　　处：《电子技术应用》2003年第12期34-37,共4页Application of Electronic Technique

摘　　要：研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DSP数字闭环控制器的基础上,通过理论建模、程序仿真和实验验证,对驱动环节进行了优化设计。在驱动环节中采用了模拟速度环、PI校正环节和线性功放,使工作台在低速下有较快的响应和较小的稳态误差。实验结果表明,使用驱动环节后的伺服控制系统有利于提高母盘的刻录精度。

关 键 词：母盘刻录 精密工作台 驱动环节 速度环 PI校正 母盘制造 

分 类 号：TQ596[化学工程—精细化工]