圆光栅

作品数:176被引量:446H指数:11
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基于VMD的圆光栅测角误差补偿方法
《仪表技术与传感器》2024年第3期44-49,共6页张栋 韦宝琛 廖忠骏 岳义 
针对圆光栅测角系统误差数据,提出了一种基于变分模态分解(VMD)的误差重构与补偿方法。首先,采用VMD算法将误差数据自适应地分解为多个模态分量(IMF),基于各IMF的相关因子值表征其含噪声程度,选择符合条件的IMF重构系统误差,再溯源分析...
关键词:圆光栅 变分模态分解 误差重构 误差补偿 
测角误差的自适应分段多项式补偿方法研究被引量:2
《仪表技术与传感器》2023年第11期112-115,共4页代小林 何永琦 谢俊翔 刘柏君 
针对圆光栅制造工艺和安装误差引起的圆光栅测角误差标定问题,提出了一种基于最小二乘法的自适应分段多项式拟合方法。通过设计区间自适应增长策略,在限制各拟合点最大拟合误差的条件下,将整个拟合区间分段,针对不同拟合区间采取不同阶...
关键词:圆光栅测角误差 转台标定 最小二乘法 分段多项式拟合 谐波拟合 
圆光栅测角误差实时补偿方法研究被引量:3
《机电工程》2023年第10期1633-1640,共8页孙秀照 雷贤卿 王笑一 
国家自然科学基金资助项目(51775172)。
误差补偿是提高圆光栅测角精度的常用手段。一些机床和精密仪器由于没有位置测量元件误差补偿功能,无法进行圆光栅的误差在线补偿。针对这一问题,提出了一种中继式的圆光栅测角误差实时补偿方法。首先,分析了圆光栅测角误差的补偿原理,...
关键词:伺服控制系统 角度位置反馈装置 精密仪器 圆光栅测角精度 误差补偿模型 硬件补偿 谐波函数 
基于双圆光栅的轴截面内轴系回转误差分析与测量方法研究
《工具技术》2023年第9期147-153,共7页张黎明 张亚东 户璐卿 王永军 
陕西省“智能制造”科技重大专项(2019zdzx01-02-02)。
基于双圆光栅测量轴系回转误差的方法,介绍了圆光栅测量轴系回转误差的原理和测量圆光栅安装偏心参数的原理。为验证该方法的正确性及可行性,设计并搭建了轴系回转误差测量对比实验系统。利用C++Builder编程并采用多轴固高控制器同时采...
关键词:圆光栅 读数头 轴系回转误差 误差分离 
基于机器视觉的数字式角振动传感器动态校准方法被引量:3
《振动与冲击》2023年第13期177-182,共6页刘文峰 杨明 蔡晨光 刘志华 杨靖 
国家自然科学基金(52075512);国家重点研发计划资助(2017Y FF0205003);贵州省教育厅青年科技人才成长项目(黔教合KY字[2022]138号);贵州省科技基金(黔科合基础[2020]1Y266);贵州省教育厅创新群体(黔教合KY字[2021]012);贵州大学博士基金项目贵大人基合字(2020)30号。
低频角振动传感器在惯性导航、姿态估计及精密控制等领域具有广泛应用,其灵敏度校准精度是决定应用系统性能的关键。激光干涉法与圆光栅法是最常用的两种校准方法,然而前者需要昂贵与复杂的系统,后者的校准频率范围与应用场景有限,难以...
关键词:振动校准 角振动传感器 机器视觉法 激光干涉法 圆光栅法 
轴系回转误差对圆光栅测量误差的影响研究
《精密制造与自动化》2023年第2期12-17,共6页芦华 
圆光栅的测角精度将直接影响数控转台的转角精度,目前对轴系回转误差引起圆光栅测量误差的研究较少。通过对单读数头相对于光栅码盘偏心、倾斜时角度测量误差的变化规律,研究双读数头安装夹角误差等因素对圆光栅测量误差影响规律;分析...
关键词:轴系回转误差 圆光栅 双读数头 测量误差 
基于圆光栅和加窗FFT的低频角振动测量方法被引量:1
《宇航计测技术》2022年第6期41-46,共6页金冉 陈永久 张军 朱永晓 厉巍 
通过对角振动参数测量在惯性和动态扭矩校准领域的应用研究,提出了基于圆光栅和加窗FFT的角振动测量及数据分析方法。通过高速数据采集卡对圆光栅传感器输出的信号进行采集和存储,通过电平累加得到波形轮廓,再对合成波形抽样并进行加窗...
关键词:振动与波 角振动 角加速度 圆光栅 加窗FFT 
样品连续旋转的高阶导模干涉刻写多层亚波长圆光栅
《激光与光电子学进展》2022年第11期374-380,共7页苏盈文 陈振宇 徐月奇 王向贤 
国家自然科学基金(61865008);甘肃省大学生创新创业训练计划(DC2020184)。
提出了一种基于样品连续旋转的高阶导模干涉刻写多层亚波长圆光栅的方法。利用有限元法模拟导模干涉场,以及坐标旋转矩阵和数值模拟方法研究对样品实施连续旋转曝光后的总光场。选取442 nm波长激光作为激发光,以TE5和TM51为例,研究了高...
关键词:光学设计与制造 微纳光刻 高阶导模干涉 多层亚波长圆光栅 
精密减速器传动误差测试系统研究被引量:1
《制造业自动化》2022年第4期55-57,69,共4页徐全坤 阚侃 黄振宇 徐立 罗旭东 
广东省科技计划(2017B030314135,2018B020207007);广东省市场监督管理局科技计划(2020HBZ01)。
设计并搭建了基于圆光栅角度编码器的精密减速器传动误差测试系统,对测试系统误差主要来源和规律进行了分析,设计并搭建了圆光栅角度编码器在位校准系统,测得了测试系统输入端和负载端角度编码器误差曲线。以某品牌RV-20E精密减速器为...
关键词:精密减速器 传动误差 测试系统 圆光栅 误差补偿 
偏心偏斜对转台圆光栅莫尔信号的影响研究被引量:5
《电子测量与仪器学报》2022年第1期1-10,共10页白冰 朱维斌 黄垚 薛梓 
国家自然科学基金(52175526);国家重点研发计划(2017YFF0204901);国家质量监督检验检疫总局科技计划(2016QK189)项目资助
转台测角系统偏心偏斜会改变莫尔信号特征,并进一步影响转台定位精度。针对偏心偏斜对转台圆光栅莫尔信号的影响开展研究。首先分析转台测角系统工作原理,阐述转台圆光栅莫尔信号特征分离方法原理;针对圆光栅莫尔信号特征误差源进行分析...
关键词:转台测角系统 偏心 偏斜 圆光栅 莫尔信号 
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