一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法  

作　　者：刘剑霜[1] 谢锋[2] 胡刚[2] 陈一[2] 盛克平 

机构地区：[1]扬州大学物理科学与技术学院,扬州225002 [2]复旦大学国家微分析中心,上海200433 [3]上海市计量测试技术研究所,上海200233

出　　处：《计量技术》2005年第11期27-29,共3页Measurement Technique

摘　　要：针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。

关 键 词：透射电子显微镜 放大倍率 校准 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]