胡刚

作品数：12被引量：25H指数：2
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供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
发文主题：透射电子显微镜透射电镜扫描电子显微镜石墨集成电路更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《集成电路应用》《化学学报》《半导体技术》更多>>
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一种氧离子注入诱生缺陷的TEM表征
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2009年第1期61-62,70,共3页颜秀文 刘东明 胡刚 
在利用氧离子注入工艺制备SOI材料的过程中，发现了一种“纳米网状”的结构缺陷。利用透射电镜、选区电子衍射和能谱分析对该缺陷进行了研究。结果表明，该缺陷呈网状，化学成分为硅和氧。初步研究认为，氧离子注入硅中所产生的穿通位...
关键词：晶体缺陷 离子注入 位错 透射电子显微镜 
一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法被引量：1
《计量技术》2005年第11期27-29,共3页刘剑霜 谢锋 胡刚 陈一 盛克平 
针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。
关键词：透射电子显微镜 放大倍率 校准 
利用粒子辐照技术实现碳纳米管向金刚石的转变被引量：1
《核技术》2004年第8期571-575,共5页孙立涛 巩金龙 朱志远 朱德彰 何绥霞 王震遐 陈一 胡刚 
中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX2-SW-N02);国家自然科学基金(10375085);上海市纳米专项(0352nm050)
采用低能氢等离子体和中能C+离子束辐照技术相结合的方法,实现了碳纳米管向金刚石纳米晶粒的转变,完成了一个从有序(碳纳米管)到无序(无定形碳纳米线)再到有序(金刚石纳米晶)的转变过程。利用透射电子显微镜(TEM)、选区电子衍射(SAD)和...
关键词：碳纳米管 粒子辐照 金刚石 
用电子显微镜剖析存储器器件被引量：3
《半导体技术》2004年第5期68-71,共4页刘剑霜 谢锋 陈一 胡刚 
简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。
关键词：电子显微镜 存储器 透射电镜 栅氧化层 集成电路 IC微结构 
硅中缺陷的透射电镜观察被引量：1
《半导体技术》2004年第3期28-30,66,共4页谢锋 刘剑霜 陈一 胡刚 
随着集成电路制造工艺技术的不断进步,器件线宽不断减小,硅材料中缺陷的危害越来越不可忽视。通过TEM观察了硅中氧沉积、工艺诱生缺陷等并对之进行了分析。
关键词：集成电路 透射电镜 硅 氧沉积 二次缺陷 
扫描电子显微镜被引量：14
《上海计量测试》2003年第6期37-39,共3页刘剑霜 谢锋 吴晓京 陈一 胡刚 
随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,...
关键词：扫描电子显微镜 二次电子 特征x射线 背散射电子 
SEM与TEM半导体分析的比较
《集成电路应用》2003年第3期51-52,共2页胡刚 陈一 谢锋 刘剑霜 朱烨 
本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。
关键词：SEM TEM 半导体 扫描电镜 透射电镜 显微技术 
碳离子辐照碳纳米管形成无定形纳米线
《化学学报》2003年第3期316-319,共4页王震遐 丁印锋 李玉兰 余礼平 张伟 朱德彰 朱志远 徐洪杰 陈一 何国伟 胡刚 
中国科学院知识创新工程重要方向项目 (No.2 60 2 0 0 31 )资助
利用 40keV的C+离子辐照 (辐照剂量为 1× 10 16 /cm2 )CVD合成的多壁碳纳米管样品 ,在高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析时发现了一些有趣现象 :其一 ,多壁碳纳米管在辐照时 ,其结构不但无定形化 ,而且有无定形纳米线和无定形管的相互...
关键词：碳离子 碳纳米管 无定形碳纳米线 离子辐照 离子束焊接 
半导体制造中的电子显微分析
《集成电路应用》2003年第2期44-45,49,共3页谢锋 刘剑霜 陈一 胡刚 
集成电路的特征尺寸越来越小,电子显微分析在微电子制造中成为不可缺少、不可替代的重要分析手段。本文根据扫描电子显微镜(SEM)及透射电子显微镜(TEM)在实际分析中的特长与局限,主要就仪器分辨率与结果的精确度的问题,讨论如何将两种...
关键词：半导体制造 电子显微分析 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 分辨率 精确度 SEM TEM 
离子辐照石墨生成的纳米尺寸Ar泡被引量：1
《高能物理与核物理》2002年第12期1316-1319,共4页王震遐 余礼平 张伟 马余刚 朱志远 何国伟 胡刚 陈一 
中国科学院知识创新工程重要方向项目 (2 60 1 0 0 3 1 )资助~~
用 60keV的Ni+和Ar+在相同实验条件下 ,先后分别辐照同一块石墨靶 ,剂量均为 1 0 1 8 cm2 .带能量色散X射线分析和电子衍射分析的高分辨透射电子显微镜观察和分析发现 ,尺寸不同的纳米Ar泡嵌在类玻璃碳薄片中 ,部分泡内的Ar可能已形成...
关键词：离子辐照 石墨 Ar泡 氩泡 纳米结构 靶材料 透射电子显微镜 
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