微波混合集成电路小型化技术  被引量:3

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作  者:云振新 

机构地区:[1]国营九七○厂

出  处:《半导体技术》1996年第4期20-29,共10页Semiconductor Technology

摘  要:介绍国外小型微波混合集成电路技术的发展概况、电路元件的制造方法、外壳封装及典型产品。

关 键 词:微波集成电路 薄膜技术 小型化技术 

分 类 号:TN454[电子电信—微电子学与固体电子学]

 

参考文献:

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