发光多孔硅的制备及其电化学成膜机制研究  

作　　者：白新德[1] 柳百新[1] 兰爱东 马春来[1] 蔡俊[1] 

机构地区：[1]清华大学材料科学与工程系

出　　处：《材料保护》1996年第6期3-4,共2页Materials Protection

摘　　要：研究了阳极氧化法制备多孔硅的工艺、表面形貌及电化学成膜机制。

关 键 词：硅 多孔硅 阳极氧化 电化学成膜机制 发光多孔硅 

分 类 号：TN204[电子电信—物理电子学] TN304.12