聚焦离子束加工技术及其应用  

Nanofabrication and Applications of Focused Ion Beam Technology

作　　者：马向国[1] 顾文琪[1] 

机构地区：[1]中国科学院电工研究所

出　　处：《微纳电子技术》2005年第12期575-577,582,共4页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：对聚焦离子束加工技术在集成电路芯片的诊断与修改、修复光刻掩模缺陷、制作透射电镜样品以及多用途微切割上的应用作了详细介绍。The applications of focused ion beam technology, for example, diagnose and modification of IC CMOS chip, repair of mask defect, making samples of TEM, multi-useful tool for tiny cut and so on, were introduced in details.

关 键 词：聚焦离子柬 液态金属离子源 应用 

分 类 号：TN405.985[电子电信—微电子学与固体电子学] TN305