一种湿度传感器接口电路的分析与改进  被引量:2

Analysis and Improvement of an Interface Circuit for Humidity Sensor

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作  者:程坤[1] 秦明[1] 张中平[1] 黄庆安[1] 

机构地区:[1]东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏南京210096

出  处:《微电子学》2005年第6期647-650,654,共5页Microelectronics

基  金:国家自然科学基金资助项目(60476019);江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)

摘  要:介绍了一种本实验室开发的集成湿度传感器,它实现了湿敏电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现电容值与频率值的转换。对样片进行了测试,电容值与湿度值近似为线性关系;但是,输出波形的占空比与理论值有较大的偏差。通过分析,给出了测试结果发生偏差的原因。最后,对施密特触发器的参数进行优化,重新对电路的结构进行了设计,实现了与实验室第二代湿度传感器的集成。A new integrated humidity sensor is dealt with. The humidity-sensitive capacitance and the interface are integrated into one chip. The interface circuit, which is based on the Schmitt trigger, works as a capacitor-frequency converter. The capacitor and the relative humidity satisfied a linear relationship during testing, but the duty cycle of the output waveform displayed a large difference from theoretic calculation. The reason for the difference is analyzed. Circuit schematic and parameters are redesigned to realize the integration with a new humidity sensor designed in our laboratory.

关 键 词:MEMS 湿度传感器 接口电路 频率输出 

分 类 号:TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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引证文献:

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