BST铁电薄膜的制备、应用及其研究进展  

The Preparation Application and Progress of Research on the Ferroelectric Thin Film of Barium Strontium Titanate

作　　者：丁历[1] 廖恒成[1] 姜云峰[1] 

机构地区：[1]东南大学材料科学与工程系,江苏南京210096

出　　处：《化工时刊》2005年第11期54-57,共4页Chemical Industry Times

摘　　要：综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜的4种制备工艺:磁控溅射(Magnetron sputtering)法、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法、脉冲激光淀积(PLD)法,以及溶胶—凝胶(Sol—Gel)法。并介绍了BST铁电薄膜在动态随机存储器、非致冷红外探测器热成像、移相器等方面的应用及其研究进展。Magnetron sputtering, MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）, PLD（Pulsed Laser Deposition） and Sol-Gel, the preparation technologies for ferroelectric thin film of barium strontium titanate（BST） are introduced. And the development and research of BST ferroeleetric thin film , and its applications on DRAM, uncooled infrared detector of thermalimager and phase shifter, are reviewed.

关 键 词：钛酸锶钡(BST) 铁电薄膜 制备 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]