新一代半导体器件参数的比例差值谱系统  

作　　者：纪志罡[1] 靳磊[1] 许铭真[1] 谭映 王国林 马进元 

机构地区：[1]北京大学微电子研究院 [2]北信通微电子系统公司

出　　处：《中国集成电路》2005年第12期49-53,72,共6页China lntegrated Circuit

关 键 词：比例差值算符 器件参数 半导体 系统 大规模集成芯片 一代 本征特性 理论与实践 综合检测 直接提取 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]