MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究  

Study of Solenoid-type Microinductor with Magnetic Core Fabricated by MEMS Technique

作　　者：高孝裕[1] 周勇[1] 雷冲[1] 陈吉安[1] 倪智平[1] 毛海平[1] 王志民[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院

出　　处：《固体电子学研究与进展》2005年第4期513-516,共4页Research & Progress of SSE

基　　金：国家高技术研究发展专项经费(2004AA302042);国家自然科学基金项目(50275096);上海市纳米专项(0215nm104;0352mm014)

摘　　要：采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等。研制的微电感大小为1500μm×900μm×100μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为5∶1。测试结果表明:在1～10MHz频率下,其电感量为0.408～0.326μH,Q值为1.6～4.2。Solenoid-type microinductor with magnetic core has been realized using micro- electro-mechanical systems （MEMS） technique such as UV-LIGA,dry etching technique, fine polishing and electroplating technique. The dimension of the inductor is 1500μm×900μm×100μm,having 41turns, with coil width of 20μm separated by 20 μm spaces and high aspect radio of 5 ： 1. The inductance and the Q-factor are 0. 408-0. 326 μH and about 1.6-4.2 at the frequency of 1--10 MHz,respectively.

关 键 词：微电感 电感量 品质因子 微机电系统 

分 类 号：TM55[电气工程—电器]