APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除  

作　　者：樊剑鸣[1] 叶勇进[1] 

机构地区：[1]中国空空导弹研究院,河南洛阳030信箱21分箱471009

出　　处：《设备管理与维修》2006年第1期20-21,共2页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：分析了APS1104真空镀膜机等离子源的故障现象,给出了等离子源故障诊断与排除方法。

关 键 词：真空镀膜机 等离子源 加热器 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]