真空镀膜机

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真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理
《设备管理与维修》2023年第11期66-67,共2页李凯 
根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理,结合实际维修经验,分析电子束蒸发器常见故障的成因,梳理排查步骤及解决措施,总结蒸发器日常使用中的注意事项。
关键词：真空镀膜机 电子束蒸发器 故障处理 
虚拟样机技术在真空镀膜机设计中的应用
《现代制造技术与装备》2022年第4期118-120,共3页金昌度 
现阶段,磁控溅射镀膜机广泛应用于工业镀膜。工业应用对薄膜参数要求不断提高,但由于国内镀膜机设计采用传统模式,主要结合大量经验公式进行设计,导致设计周期较长,无法满足镀膜机的应用需求。为解决上述问题,研究虚拟样机技术在镀膜机...
关键词：虚拟样机技术 真空镀膜机 仿真模型 
基于PLC的真空离子镀膜机控制系统设计被引量：1
《机械管理开发》2022年第2期283-284,287,共3页张羽洲 
真空离子磁控溅射镀膜是一种被广泛使用的镀膜工艺,具有工艺质量好、操作简便、控制灵活等优势。因此,探讨了基于PLC的真空离子磁控溅射镀膜机的控制系统结构和软硬件设计。该系统可实现真空离子磁控溅射镀膜机的逻辑控制和数据处理,以...
关键词：PLC真空镀膜机 真空离子磁控溅射 离子镀膜 
真空镀膜机用小型磁性液体密封设计被引量：6
《北京交通大学学报》2021年第5期124-129,共6页于文娟 李德才 李艳文 张志力 董珈皓 
国家自然科学基金(51735006,U1837206,51927810);北京市自然科学基金(3182013)。
真空镀膜机的传动控制轴处密封通常采用的是接触式机械密封,易磨损、寿命短、制作工艺繁琐、造价高.本文设计了小轴径真空镀膜机用的磁性液体密封结构,对磁性液体密封结构的磁场进行了有限元分析,得到了密封结构的磁场分布,以及密封结...
关键词：密封 磁性液体 有限元 真空镀膜机 
光学真空镀膜机的应用及发展
《设备管理与维修》2021年第11期88-89,共2页孙海新 
介绍光学镀膜机的结构以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面的决定性作用,针对Lens的膜系生产提出了镀膜工艺的改进方法,以达到提高生产精度、降低生产和维护成本、减少污染的目的。
关键词：光学镀镆 离子源 射频源 真空泵 分子泵 
真空镀膜机自动控制系统的研发现状及应用研究
《现代制造技术与装备》2020年第7期197-197,199,共2页张小飞 
分析真空镀膜机自动控制系统的研发现状,探讨真空镀膜机自动控制系统的应用,通过对该系统进行动态控制来实现设备的自动化操作,从而降低企业成本,提高企业收益。
关键词：真空镀膜机 自动控制系统 自动化操作 
蒸镀式有机物真空镀膜机工作原理及常见故障分析
《中国水运（下半月）》2020年第3期100-101,共2页汪雷雷 仲梁维 戴秀海 
上海市宝山科委科技创新产学研项目:基于大数据的智能型镀膜机开发(17-C-17)
真空镀膜设备是电子行业、半导体行业、光学、太阳能薄膜及玻璃等行业生产和研制过程中广泛使用的设备,随着这些行业的快速发展,市场对镀膜设备性能的要求越来越高。本文对蒸镀式真空镀膜机的工作原理进行详细的介绍,并对常见镀膜设备...
关键词：真空镀膜 故障 工作原理 
真空镀膜机自动控制系统应用研究被引量：1
《现代制造技术与装备》2019年第6期205-206,共2页石斌 
结合真空镀膜机自动控制系统应用背景,对其自动化控制系统进行全面探讨与设计,其中主要包括靶电源、抽真空、水冷设备、电流电压、温度、气体流量以及压力等自动测量系统。通过对该系统动态控制,实现设备自动化操作,提升企业成本管理效益。
关键词：真空镀膜机 自动控制 系统设计 
镀膜机的结构分析及在船舶制造领域的应用被引量：1
《中国水运（下半月）》2018年第11期83-84,共2页戴秀海 阎雪 仲梁维 
上海市宝山区科学技术委员会的资助;项目编号为:17-C-17
本文简要阐述了国内真空镀膜机目前的发展状况,以及机械自动化技术在镀膜行业的应用,对镀膜机的结构和工作原理进行深入的探究,并介绍真空镀膜机在现代化造船业的实施应用。
关键词：真空镀膜机 机械自动化 船舶制造 
MFC在真空镀膜机上的应用研究
《信息记录材料》2018年第11期1-3,共3页王宠 张士强 
本文主要对质量流量控制器(MFC)在真空镀膜机上的应用进行了研究,尤其是MFC对液体的蒸汽流量控制时展开了研究,并以镀膜用原材料六甲基硅氧烷(HMDSO)为例,对MFC的系统温度、工作压差两个重要条件进行了详细阐述。
关键词：质量流量控制器(MFC) 真空镀膜机 
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