光学真空镀膜机的应用及发展  

作　　者：孙海新 

机构地区：[1]歌尔股份有限公司,山东潍坊261000

出　　处：《设备管理与维修》2021年第11期88-89,共2页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：介绍光学镀膜机的结构以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面的决定性作用,针对Lens的膜系生产提出了镀膜工艺的改进方法,以达到提高生产精度、降低生产和维护成本、减少污染的目的。

关 键 词：光学镀镆 离子源 射频源 真空泵 分子泵 

分 类 号：TB79[一般工业技术—真空技术]