真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理  

作　　者：李凯 

机构地区：[1]中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所,河南洛阳471000

出　　处：《设备管理与维修》2023年第11期66-67,共2页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理,结合实际维修经验,分析电子束蒸发器常见故障的成因,梳理排查步骤及解决措施,总结蒸发器日常使用中的注意事项。

关 键 词：真空镀膜机 电子束蒸发器 故障处理 

分 类 号：TN305.8[电子电信—物理电子学]