敢问中国电子气体路在何方  

Where Is The Way to The Electronic Gases in China

作　　者：孙福楠[1] 吴江红[1] 王秋娥[1] 

机构地区：[1]光明化工研究设计院,辽宁大连116031

出　　处：《低温与特气》2005年第6期1-3,共3页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：对中国电子气体的历史进行了回顾,通过对某些具有代表性的电子气体的描述,可以清晰地看到我国电子气体同发达国家的差距。对中国电子气体未来的发展走向进行了剖析。Review the history of the electronic gases in China. We can learn the gap of the electronic gases between our country and the developed country by means of the description of the typical electronic gases. Look forward to the future of the electronic gases in China.

关 键 词：电子气体 VLSI ULSI 

分 类 号：F426.7[经济管理—产业经济]