现行SEMI气体标准目录  

Current Gases Standard Catalogue For SEMI

作　　者：梁玉[1] 

机构地区：[1]光明化工研究设计院,辽宁大连甘井子甘北路34号116031

出　　处：《低温与特气》2005年第6期32-34,共3页Low Temperature and Specialty Gases

关 键 词：标准目录 SEMI 二氯二氢硅 气体 瓶装 

分 类 号：Z88[文化科学]