氮化锆薄膜——耐热高强度电子元件材料  

作　　者：陶道敏（摘译） 

出　　处：《无机盐工业》2006年第2期61-61,共1页Inorganic Chemicals Industry

摘　　要：氮化锆（ZrN）具有独特的物理性质，它可用于耐热、高强度电子元件材料。喷溅法是合成该种薄膜的目前仅有的方法。但该方法制得的产品尺寸大小及形状受到限制。最近，由F1本Kanagawa大学研究成功的氮化锆薄膜采用了溶胶-凝胶法合成制得，解决了当前合成方法产品受尺寸大小及形状的限制。它采用先配制好的氮化锆-丙醇盐、

关 键 词：氮化锆薄膜 电子元件 材料 强度 耐热 产品尺寸 溶胶-凝胶法 合成方法 物理性质 研究成功 

分 类 号：TQ320.721[化学工程—合成树脂塑料工业] TN605[电子电信—电路与系统]