气体摆式两维倾角传感器的结构与信号处理  

The Research of Two-Dimension Gas Pendulum Tilt Sensor

作　　者：林宇[1] 段成丽[2] 朴林华[1] 张福学[1] 

机构地区：[1]北京信息工程学院传感技术研究中心,北京100101 [2]科技信息研究中心,北京100036

出　　处：《压电与声光》2006年第1期33-35,共3页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市自然科学基金项目(43032010);北京市重点实验室开放课题资助(603037)

摘　　要：介绍了气体摆式两维倾角传感器的敏感原理即气体摆倾角敏感原理,并对两维倾角传感器的敏感元件结构设计方案进行了分析。分析了气体摆式两维倾角传感器的基本原理,在此基础上,研究了克服影响传感器性能的环境因素的方法,给出了一个详细和优化的解决方案。最后通过对实际制作的两维倾角传感器进行的测试表明,该文介绍的气体摆式两维倾角传感器的非线性度可小于0.2%,分辨率小于0.03°,工作温度得到扩展。The paper firstly imtriduced the theory of the gas pendulum two-dimension tilt sensor in brief,and the structure design of the sensor＇s sensitive element was analyzed in detail. Then the method of the sensor＇s reading circuit was analyzed,on the bases, the method of improving the environment performance of the sensor was studied, a particular and optimum solution was given. At last the test about the sensor showed the sensor＇s performance is as follow：nonlinear 〈0.2 %, resolution 〈0. 03°,the working temperature was enlarged too, and the anticipated target was achieved.

关 键 词：两维 气体摆 倾角传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]