实用型准分子激光器研究  

Studies for a practical excimer Icser

作　　者：秦玉英[1] 姚永邦[1] 马树森[1] 蔡连新[1] 王广昌[1] 善新新[1] 

机构地区：[1]中科院安徽光机所

出　　处：《激光杂志》1987年第5期320-322,326,共4页Laser Journal

摘　　要：本文介绍了实用型准分予激光器的实验研究。获得了XeCl准分予激光输出参数为：重复额率1-5Hz，一次充Xe缓冲气体间断工作累计时间大于200小时．总脉冲次数大于5×10^5。工作中注入HCl气体。最大输出能量为120毫焦耳。讨论了准分子激光的输出特性。An experimental study of a pracfieal excimer lser is presented, and the output parameter of XeCe laser with repetition rate of 1-5 Hz, in adding fresh HCl for a gas fill Xe and diluent gas with large than 200 hours of store operation time, laser shots of -5×10^5, maximum pulse energy is 120mj are obtaned, The output performance of excimer laser is discussed.

关 键 词：准分子激光器 实用型 HCL气体 输出参数 XECL 脉冲次数 缓冲气体 输出能量 输出特性 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学] TS974.1[轻工技术与工程]