离子注入α－Al_2O_3陶瓷材料的表面改性研究  

Surface modification of alumina by nitrogen ion implantation

作　　者：王齐祖[1] 陈玉峰[1] 田军[1] 杨晓鸿[1] 王志宏[1] 

机构地区：[1]兰州大学,中国建筑材料科学研究院,中国科学院兰州化学物理研究所

出　　处：《核技术》1996年第2期75-79,共5页Nuclear Techniques

基　　金：甘肃省自然科学基金

摘　　要：研究了α－Ａｌ２Ｏ３单晶注入Ｎ＋后的力学性能变化。结果表明，注入剂量为１×１０１７Ｎ＋／ｃｍ２时，Ａｌ２Ｏ３的显微硬度提高了９２％；注入剂量为３×１０１７Ｎ＋／ｃｍ２时，在Ａｌ２Ｏ３表面形成非晶层，导致表面软化，显微硬度只是基体的５０％左右．离子注入在样品表面产生了高达￣１１５０ＭＰａ的压应力，材料的断裂韧性的改善与此有关，实验亦发现Ｎ＋离子注入后Ａｌ２Ｏ３的断裂韧性提高了９５％左右．ＳＥＭ分析同样证明Ｎ＋注入ａ－Ａｌ２Ｏ３后，其表面力学性能确实有所改善。The effect of 110keV nitrogen ion implantation on hardness,fracture toughness and residual stress of the single crystal alumina has been investigated.It is shown that,ocrphardness increases by 92% for a fluence of 1×1017N+/cm2 and fracture toughness increases by 95% for a fluence of 3×1017N+/cm2.

关 键 词：离子注入 表面改性 氮化铝 陶瓷材料 

分 类 号：TQ174.758[化学工程—陶瓷工业]