稀土纳米膜的制备及摩擦学性能  

The Preparation and Friction Behavior of Rare Earth Nanofilm

作　　者：王梁[1] 程先华[1] 

机构地区：[1]上海交通大学机械与动力工程学院,上海200030

出　　处：《上海交通大学学报》2006年第2期231-233,238,共4页Journal of Shanghai Jiaotong University

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50475023);上海市纳米专项基金资助项目(0252nm014)

摘　　要：在单晶硅和玻璃基片上用自组装的方法制备了稀土纳米膜,利用原子力显微镜(AFM)、接触角测量仪等测试手段对制备的薄膜进行了表征;并用自行研制的滑动往复式微摩擦测试系统测试了其摩擦特性.研究结果表明,在玻璃和单晶硅基片表面都成功地组装上了稀土自组装薄膜,未经表面改性的单晶硅和玻璃基片的摩擦系数分别为0.80和0.79,在其表面制备稀土纳米膜后的摩擦系数分别降低至0.16和0.11,同时耐磨性及摩擦稳定性都得到显著提高,显示了稀土纳米膜在微机构表面改性的潜在应用前景.A self-assembly method was adopted to obtain rare earth （RE） nanofilm on the substrates of single-crystal silicon and glass. A sliding reciprocating micro friction tester was developed to carry out tribological investigation of the films. As a result, the RE nanofilms are of lower steady friction coefficient （COF） and better wearing resistance compared with the substrates, indicating their promising applications in microelectromechanical system（MEMS） field.

关 键 词：稀土 纳米膜 摩擦 微机电系统 

分 类 号：TH117.1[机械工程—机械设计及理论]