光刻伺服盘检测  

Etched Servo Disk Detecting

作　　者：罗敢[1] 朱永红[1] 张江陵[1] 赫连娜 

机构地区：[1]华中理工大学

出　　处：《武汉工业大学学报》1996年第1期77-79,共3页

基　　金：国家自然科学基金重点项目资助

摘　　要：光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.As one king of new-generation magnetic disk servo position technology, the Etched Servo Disk System has been successfully researched. The detecting experiments proved that the quality satisfied our research purpose.

关 键 词：光刻伺服盘 伺服定位 质量检测 磁盘 

分 类 号：TQ587.2[化学工程—精细化工]