高可靠SOS固态压力传感器  

作　　者：陈庆贵[1] 史日华 滕征杰 许和平 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所 [2]黑龙江省电子技术研究所

出　　处：《半导体技术》1990年第4期33-37,共5页Semiconductor Technology

摘　　要：本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0～20MPa,工作温度-55°～300℃,精度0.2～0.5％,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。

关 键 词：压力传感器 SOS 固态 硅-蓝宝石 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]