GaAs超高速集成电路  

GaAs Very High Speed IC

作　　者：马振昌 梁春广 

出　　处：《半导体情报》1990年第1期1-14,共14页Semiconductor Information

摘　　要：本文简要地评述了GaAs VHSIC的特点和发展概况。叙述了GaAs高速器件、基本的逻辑结构和一些重要的制连技术。并对一些新型高速器件、重要的工艺技术和发展前景进行了讨论。This paper briefly reviews features and development of GaAs very high speed IC(GaAs VHIC). GaAs VHIC, fundamental logic circuit configuration and some important fabrication technology are described. Advanced high speed devices, navel Process techniques and future trends of GaAs VHSIC are also discussed.

关 键 词：GAAS 集成电路 超高速 VHSIC 

分 类 号：TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]