微型靶标的半自动装配系统设计  

Design of Semiautomatic Assembly System on Micro-sphere Target

作　　者：隋修武[1] 张国雄[1] 裘祖荣[1] 于复生[1] 么春娟[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《中国机械工程》2006年第5期460-463,共4页China Mechanical Engineering

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA84ts05)

摘　　要：设计了微型靶标半自动装配系统的机械结构和微动机构,装配系统采用真空吸头固定微型靶标的半圆柱和靶球,采用步进电机控制精密丝杠带动平移台进行粗调与压电陶瓷微机械臂进行微调相结合的方式进行精密定位,并用CCD在线监测装配过程中靶标各部件的相对位置。实验证明系统的装配精度为2μm。The paper designed the mechanical structure and micro--actuator of a semiautomatic assembly system on micro--sphere target. The half cylinders and micro--sphere were fixed by vacuum absorber, locomotive table driven by step motor and piezoelectric micro--mechanical arm were used for precise localization, and CCD was adopted to monitor the position of parts of micro--target. The experiments show the assembly error is only 2μm.

关 键 词：步进电机 微机械臂 压电陶瓷 CCD 微型靶标 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]