微机械线加速度计  

Micromachined Linear Accelarometer

作　　者：候正君 

机构地区：[1]四川压电与声光技术研究所

出　　处：《压电与声光》1996年第3期174-178,共5页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ２，且能承受５００００ｍ／ｓ２以上高冲击。This paper describes a new micromachined servo accelarometer(MSA).Its principle and characteristics are compared with the magnetic and variable capacitance type accelarometers.The upper measuring limit of the micromachined servo accelarometer can reach to±500m/s2.It can withstand high shook over 50 000 m/s2.

关 键 词：加速度计 微机械 伺服 变电容 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]