柱状ZnO阵列薄膜的生长及其发光特性  

Growth of ZnO microrod array films and their optical properties

作　　者：刘红霞[1] 周圣明[1] 李抒智[1] 杭寅[1] 徐军[1] 顾书林[2] 张荣[2] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所 [2]南京大学物理系,南京210093

出　　处：《物理学报》2006年第3期1398-1401,共4页Acta Physica Sinica

摘　　要：采用一种设备简单、原料低廉的新型方法,在镀有ZnO先驱薄膜的(0001)蓝宝石上利用水热法制备出了柱状ZnO阵列薄膜.用扫描电镜(SEM),X射线衍射(XRD)对样品的形貌和结构进行了表征,结果显示ZnO薄膜为柱状阵列,基于蓝宝石衬底沿c轴择优生长,且(0004)摇摆曲线半高宽度(FWHM)约为1·8°.此ZnO阵列薄膜具有很强的紫外发射光谱(PL).A novel approach using low-cost and simple-equipment was successfully demonstrated on the growth of ZnO microrod array films. Scanning electron microscopy （SEM） and X-ray diffraction （XRD） has characterized the microstructure of the samples. The results indicate that ZnO microrod array films are hexagonal, highly oriented crystalline array films, grown along c-axis of ZnO on （0001） sapphire substrates. The FWHM is about 1.8° for the （0004） rocking curve of the ZnO films. The photoluminescence spectra of ZnO array films show a strong and narrow peak at 395nm.

关 键 词：柱状ZnO阵列薄膜 水热法 (0001)蓝宝石 PL谱 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理] TN304.21[理学—物理]