金属镍微型静电马达的观察  

作　　者：唐圣明[1] 陈思琴[1] 王效东[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所

出　　处：《电子显微学报》1996年第6期516-516,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中，从而批量制造各种微型的机械零件，直至微型机械人。本文所介绍的金属...

关 键 词：金属镍 微型 静电电机 微电子机械学 

分 类 号：TM35[电气工程—电机]