陈思琴

作品数:7被引量:4H指数:1
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供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题:反应离子刻蚀空间电场刻蚀硅传感器微电子技术更多>>
发文领域:电子电信机械工程电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《应用科学学报》《电子显微学报》更多>>
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自停止腐蚀工艺的观察
《电子显微学报》2001年第4期408-409,共2页唐圣明 陈思琴 韩明 
关键词:自停止腐蚀工艺 大规模集成电路工艺 腐蚀剂 微机械器件 硅片腐蚀 微悬梁 加速度计结构 
硅传感器反应离子刻蚀的观察被引量:3
《电子显微学报》2000年第4期583-584,共2页唐圣明 陈思琴 熊幸果 
关键词:硅传感器 反应离子刻蚀 微电子技术 
金属镍微型静电马达的观察
《电子显微学报》1996年第6期516-516,共1页唐圣明 陈思琴 王效东 
金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中,从而批量制造各种微型的机械零件...
关键词:金属镍 微型 静电电机 微电子机械学 
KYKY-1000B扫描电镜使用中的几种特殊方法
《电子显微学报》1996年第6期599-599,共1页唐圣明 陈思琴 
KYKY-1000B扫描电镜使用中的几种特殊方法唐圣明陈思琴(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)一、高压气源的代换KYKY-1000B扫描电镜采用空气压缩机作为气动阀门的气源。当空压机损坏而又不能马上修复时...
关键词:扫描电镜 KYKY-1000B 维护 
X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
《电子显微学报》1994年第6期510-510,共1页唐圣明 徐梅娣 陈思琴 林绥娟 
X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明,徐梅娣,陈思琴,林绥娟(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)铝钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O_3,简称PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广...
关键词:X射线谱仪 能谱 薄膜器件 刻蚀 铁电材料 
空间电场的观察
《电子显微学报》1994年第6期441-441,共1页唐圣明 林绥娟 陈思琴 
空间电场的观察唐圣明,林绥娟,陈思琴(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)空间电场的分布与观察,是人们长期以来一直关注的问题。在透射电镜中,人们目前可以借助于电子全息术观察到粒子周围的空间电场及磁场的分布。在...
关键词:电磁场 空间电场 扫描电子显微镜 观察 
采用SF_6+O_2反应离子刻蚀聚酰亚胺膜被引量:1
《应用科学学报》1993年第1期31-36,共6页孙承龙 杜根娣 郭方敏 陈思琴 林绥娟 胡素英 
报道了在O_2或SF_6+O_2混合气体中反应离子刻蚀聚酰亚胺的基本原理.使用牛津等离子科技公司的Plasmalab μp型刻蚀仪,对厚度0—4μm的聚酰正胺膜,进行各向异性的刻蚀,获得了侧墙陡直的微细图形.
关键词:聚酰亚胺 半导体工艺 侵蚀 薄膜 
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