X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用  

作　　者：唐圣明[1] 徐梅娣[1] 陈思琴[1] 林绥娟 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所

出　　处：《电子显微学报》1994年第6期510-510,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广泛的应用价值。ＰＺＴ薄膜与器件的制...

关 键 词：X射线谱仪 能谱 薄膜器件 刻蚀 铁电材料 

分 类 号：TH838.3[机械工程—仪器科学与技术] TM221[机械工程—精密仪器及机械]