自停止腐蚀工艺的观察  

Study on the technology of self-stop corrosion

作　　者：唐圣明[1] 陈思琴[1] 韩明[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所,上海200050

出　　处：《电子显微学报》2001年第4期408-409,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：自停止腐蚀工艺 大规模集成电路工艺 腐蚀剂 微机械器件 硅片腐蚀 微悬梁 加速度计结构 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]