微机械器件

作品数：19被引量：47H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：王渭源金仲和朱长纯刘君华刘玉菲更多>>
相关机构：中国科学院上海冶金研究所弗劳恩霍夫应用研究促进协会中国科学院清华大学更多>>
相关期刊：《红外与激光工程》《机械研究与应用》《今日科技》《机械工程学报》更多>>
相关基金：国家攀登计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金中国科学院重点实验室基金更多>>
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用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术
《中国科技纵横》2016年第3期198-198,共1页周波 
现阶段我国的科学技术不断发展，社会也在日益进步，微机械技术也在不断发展，微机械技术是致力于研究、生产微机械器件以及微电子机械系统的主要技术。下面本文调查分析了几个微机械技术单位在一段时间内微机械技术方面主要的研究成果...
关键词：微机械器件 微电子机械系统 准三维加工技术 
细菌驱动微转子马达
《今日电子》2006年第11期33-33,共1页Ralph Raiola 
关键词：分子马达 细菌 转子 驱动 微机械器件 微型机器人 无机材料 大型结构 
微机电系统的进展分析与研究被引量：6
《机械研究与应用》2002年第1期72-75,共4页刘晓斌 
系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统 ,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺 ,以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走...
关键词：微机电系统 微机械器件 加工工艺 产业化 
微机械器件形状与尺寸的图像测量研究被引量：9
《机械工程学报》2002年第z1期101-103,107,共4页邓进军 苑伟政 李晓莹 马炳和 
容闳基金
采用面阵CCD作为图像传感器,结合微机械器件结构尺寸的测量特点,建立非接触式无损图像测量系统,并给出了典型平面几何尺寸的测量原理和算法。试验结果表明系统具有良好的稳定性和较高的精度。
关键词：微机械器件 形状尺寸 图像测量 
自停止腐蚀工艺的观察
《电子显微学报》2001年第4期408-409,共2页唐圣明 陈思琴 韩明 
关键词：自停止腐蚀工艺 大规模集成电路工艺 腐蚀剂 微机械器件 硅片腐蚀 微悬梁 加速度计结构 
微电子机械系统的研究进展被引量：12
《国外电子元器件》2001年第1期4-9,共6页李炳乾 朱长纯 刘君华 
国家自然科学基金;国家教育部博士点基金;教育部重点实验室和西安交通大学学科建设重点项目资助
本文从微电子机械系统 (MEMS)的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术 ,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展 ,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力 ,提出了“只有产业...
关键词：MEMS 微机械器件 微电子 微电子机械系统 机械加工 
影响微电子机械系统成品率和可靠性的粘合力和摩擦力被引量：5
《中国工程科学》2000年第3期36-41,共6页王渭源 
国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目! ( 85 -3 7)
文章评述了影响微电子机械系统 (MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸(HF)腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时 ,由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来 ,称为“释放有关粘合”。...
关键词：微电子机构系统 粘合力 摩擦力 抗粘合薄膜 耐磨损薄膜 成品率 可靠性 微电子器件 微机械器件 
用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能被引量：2
《金属学报》2000年第5期525-529,共5页陈垚 张轩雄 熊幸果 王渭源 
结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁，其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ，Ｃｕ膜厚０．２μｍ．利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下，复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６；质量分数，％，下同...
关键词：微机械 Fe-Ni合金电镀沉积膜 内应力 热膨胀系数 
未来的智能微系统
《微电子技术》1999年第6期59-60,共2页
关键词：微电子机械系统(MEMS) 智能微系统 制造工艺 半导体工艺 微机械器件 工艺设备 半导体制造 化学机械抛光 可靠性 数字微镜器件 
硅微机械陀螺接口检测技术的研究被引量：7
《微电子学》1999年第5期343-346,共4页李万玉 阮爱武 罗晋生 冯培德 
研究了微陀螺的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术,以及抑制由开关电荷...
关键词：微机械器件 硅微加速度计 微陀螺 相关双采样 
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