王渭源

作品数：58被引量：93H指数：5
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：微机械传感器微电子机械系统微机械器件金刚石薄膜更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《高技术通讯》《微细加工技术》《科学》《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家攀登计划国家重点基础研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目更多>>
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微系统进展与我院微系统发展战略思考
《中国科学院院刊》2003年第1期14-19,共6页封松林 王渭源 王跃林 刘海涛 祝向荣 
微系统是指集成了微电子和微机械(或光学、化学、生物等方面的微元件)的系统。它以微米尺度理论为基础,用批量化的微电子技术和三维加工技术制造,用以完成信息获取、处理及执行的功能。阐述了国内外微系统技术及其产业发展的历程、现状...
关键词：微系统 发展战略 上海微系统与信息技术研究所 
用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术被引量：3
《中国工程科学》2002年第6期56-62,共7页王渭源 王跃林 
国家重点基础研究发展规划资助项目 (G19990 3 3 10 1)
对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽...
关键词：体硅键合技术 薄膜密封技术 微电子机械系统 封装技术 芯片 
一种新型微机械陀螺的研究被引量：2
《高技术通讯》2002年第9期38-41,共4页熊斌 黄小振 王跃林 王渭源 
973规划 (G19990 3 3 10 1)
设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺。这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联。计算结果表明 ,这种器件在大气压条件下其驱动模态和检测模态的品质因子几乎同为 14 0。同时 ...
关键词：硅 微机械陀螺 微机械加工技术 深反应粒子刻蚀 玻璃 键合 
微分和表观静摩擦系数的表式
《中国工程科学》2001年第8期29-32,共4页王渭源 
国家重点基础研究发展规划项目 (G19990 3310 1)
当前 ,工程师和科学家都对微牛和纳牛量级载荷静摩擦系数 (以下简称微牛纳牛静摩擦系数 )很感兴趣。但文献中至今没有详细讨论过微牛纳牛静摩擦系数与载荷的关系 ,而且发表的实验结果都不相互讨论。从微分静摩擦系数的定义出发 ,导出几...
关键词：微分静摩擦系数 微牛纳牛静摩擦系数 表观静摩擦系数 宏观静摩擦系数 
集成微光机电系统产业化前景被引量：1
《世界产品与技术》2000年第10期26-27,共2页王渭源 王跃林 
关键词：集成微光机电系统 产业化 电子产业 
集成微光机电系统前沿被引量：1
《世界产品与技术》2000年第10期28-29,共2页王跃林 王渭源 
关键词：集成微光机电系统 微电子技术 微系统 
影响微电子机械系统成品率和可靠性的粘合力和摩擦力被引量：5
《中国工程科学》2000年第3期36-41,共6页王渭源 
国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目! ( 85 -3 7)
文章评述了影响微电子机械系统 (MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸(HF)腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时 ,由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来 ,称为“释放有关粘合”。...
关键词：微电子机构系统 粘合力 摩擦力 抗粘合薄膜 耐磨损薄膜 成品率 可靠性 微电子器件 微机械器件 
用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能被引量：2
《金属学报》2000年第5期525-529,共5页陈垚 张轩雄 熊幸果 王渭源 
结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁，其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ，Ｃｕ膜厚０．２μｍ．利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下，复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６；质量分数，％，下同...
关键词：微机械 Fe-Ni合金电镀沉积膜 内应力 热膨胀系数 
变面积结构微机械电容式加速度传感器被引量：5
《中国工程科学》2000年第2期36-40,共5页李宝清 陆德仁 王渭源 
国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目!(8537)
文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分...
关键词：电容 微机械加速度传感器 变面积结构 原理 制作 
集成微光机电系统研究现况及其产业化前景被引量：3
《功能材料与器件学报》2000年第1期1-6,共6页王跃林 王渭源 
本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景 ;在此基础上 。
关键词：微电子机械系统 微系统 信息系统 产业化 
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