集成微光机电系统前沿  

作　　者：王跃林[1] 王渭源[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所

出　　处：《世界产品与技术》2000年第10期28-29,共2页

关 键 词：集成微光机电系统 微电子技术 微系统 

分 类 号：TP271.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]