李宝清

作品数：5被引量：12H指数：2
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：微机械加速度计电容式栅结构加速度传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《中国工程科学》《机械工程学报》《应用科学学报》更多>>
所获基金：国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
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霍尔翼片传感器的磁路仿真与设计被引量：2
《机械工程学报》2002年第7期131-135,共5页胡少坚 崔卫东 李宝清 夏冠群 
利用ANSYS有限元分析软件对霍尔翼片传感器进行磁路仿真和设计。以Honeywell公司的2AV系列霍尔翼片传感器为例确立了静态和动态仿真的过程。用Sm2Co17永磁替代AlNiCo器件中的AlNiCo8永磁,并进行结构调整和优化,研制出的新器件与原器件...
关键词：霍尔翼片传感器 磁路 仿真 霍尔效应器件 磁场 CAD 
硼离子注入对硅基Si_3N_4薄膜驻极体性质的影响及力学性能的改善被引量：2
《应用科学学报》2000年第3期255-258,共4页张晓青 夏钟福 潘永刚 张冶文 李宝清 林梓辛 
国家自然科学基金!(59682003);中科院离子束开放研究实验室课题资助项目!(硼离子注入对Si3N4薄膜驻极体性能的改善)
利用硼离子Ｂ＋注入方法来改善Ｓｉ３Ｎ４薄膜的力学性质，并就Ｂ＋注入对Ｓｉ３Ｎ４薄膜驻极体性质的影响进行了较为系统的研究．实验结果表明，Ｂ＋注入能够有效地降低薄膜的内应力，而对薄膜的驻极体性质有不利的影响；用化学表面修...
关键词：氮化硅薄膜 驻极体 硼离子注入 内应力 
变面积结构微机械电容式加速度传感器被引量：5
《中国工程科学》2000年第2期36-40,共5页李宝清 陆德仁 王渭源 
国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目!(8537)
文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分...
关键词：电容 微机械加速度传感器 变面积结构 原理 制作 
微机械电容式加速度计的开环工作模式被引量：3
《功能材料与器件学报》1999年第4期281-287,共7页李宝清 陆德仁 王渭源 
攀登计划B资助
在微机械电容式加速度计中利用静电力反馈使加速度计处于闭环力平衡模式工作，能提高加速度计的线性度。本文阐述了静电力在开环工作模式中的作用，导出了相关的灵敏度公式，报导了实验结果和成功地将原闭环工作的±１ｇ 量程加速度计...
关键词：微机械 加速度计 开环 工作模式 电容式 
微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟
《功能材料与器件学报》1996年第3期158-165,共8页李宝清 陆德仁 熊斌 卢平芳 何国鸿 鲍敏杭 王渭源 
国家科委攀登计划B项目;自然科学基金
本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬...
关键词：微机械 悬浮 加速度计 计算机模拟 
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