微机械加速度传感器

作品数：11被引量：47H指数：4
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相关机构：浙江大学中国科学院中国工程物理研究院电子工程研究所罗伯特·博世有限公司更多>>
相关期刊：《电子机械工程》《中国学术期刊文摘》《传感器世界》《电子测试》更多>>
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微机械加速度传感器可靠性设计与实现
《电子测试》2014年第1X期26-27,共2页李艳梅 
本文通过对电容式微机械加速度传感器的原理进行分析,针对影响传感器性能的非欧姆接触因素进行分析,从而进行关于微机械加速度传感器的温度补偿电路设计,通过稳定性测试手段来验证本文设计的可靠性与可行性。
关键词：微机械 加速度传感器 可靠性 性能 
基于加速度传感器的红外图像稳像技术研究被引量：2
《光电工程》2012年第8期63-68,共6页陈盈 王弘韬 安成斌 
本文对安装于非固定平台上红外前视设备的像移产生的机理进行了详细分析,在此基础上提出了采用微机械加速度传感器获取像移矢量的方法及算法,并研制了可安装于红外前视设备上的像移矢量测量系统,利用三维摇摆台进行了像移测量和稳像试验...
关键词：微机械加速度传感器 稳像 像移 红外图像 
MMA8451Q 3轴电容式MEMS加速度传感器
《传感器世界》2010年第11期36-36,共1页
MMA8451Q是一款具有14位分辨率的智能低功耗、三轴、电容式微机械加速度传感器。这款加速度传感器具有丰富的嵌入式功能，带有灵活的用户可编程选项，可以配置多达两个中断引脚。嵌入式中断功能可以节省整体功耗，解除主处理器不断轮询...
关键词：微机械加速度传感器 电容式 MEMS 三轴 中断功能 位分辨率 主处理器 数据分析 
侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计被引量：1
《浙江工业大学学报》2008年第3期326-329,共4页董健 
给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.硅微机械加速度传感器采用压阻式双悬臂梁整体式结构.两个结构相同分布方向相反的悬臂梁采用DRIE工艺加工,在每个梁的侧面通过硼扩散形成两个压敏电阻,四个压敏电...
关键词：侧面扩散电阻 硅微机械加速度传感器 双悬臂梁 电隔离窄沟槽 
高g值微机械加速度传感器的现状与发展被引量：11
《仪器仪表学报》2008年第4期892-896,共5页李世维 王群书 古仁红 刘君华 
国防预研基金(13010401)资助项目
本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望。重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器。首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理,主要技术指标和敏感元件的...
关键词：加速度传感器 高G值 爆炸与冲击 微机械 
仪器仪表技术
《中国学术期刊文摘》2007年第14期137-142,共6页
用于内波竖向观测的数字纹影系统;基于厚膜混合集成的硅微机械加速度传感器;冷轧乳化液浓度在线测量仪的研究;非破坏性水分测量仪的设计;新型丙酮分析仪的研究……
关键词：仪器仪表技术 微机械加速度传感器 厚膜混合集成 在线测量仪 冷轧乳化液 水分测量仪 非破坏性 分析仪 
微机械加速度传感器及应用被引量：23
《测控技术》2003年第3期5-8,共4页石庚辰 
叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。
关键词：微机电系统 微加速度传感器 
微机械加速度传感器性能的等效电学模拟被引量：4
《电子机械工程》2002年第2期32-34,共3页车录锋 熊斌 王跃林 
建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型 ,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号 ,阶跃加速度信号 ,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况 ;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加...
关键词：微机械加速度传感器 等效电路模型 压控电容模型 模拟 
低量程高线性压阻式微机械加速度传感器被引量：1
《功能材料与器件学报》2001年第2期135-140,151,共7页金虎 陆德仁 沈绍群 鲍敏杭 
介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应...
关键词：加速度传感器 压阻式 横向效应 空气阻尼 微机械 
变面积结构微机械电容式加速度传感器被引量：5
《中国工程科学》2000年第2期36-40,共5页李宝清 陆德仁 王渭源 
国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目!(8537)
文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分...
关键词：电容 微机械加速度传感器 变面积结构 原理 制作 
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