微机械加速度传感器性能的等效电学模拟  

Equivalent Electrical Simulation of Micro Acceleration Sensor

作　　者：车录锋[1] 熊斌[1] 王跃林[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,上海200050

出　　处：《电子机械工程》2002年第2期32-34,共3页Electro-Mechanical Engineering

摘　　要：建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型 ,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号 ,阶跃加速度信号 ,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况 ;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加速度信号时的小电容检测电路的性能。模拟结果表明采用反馈可以拓宽加速度传感器的测量范围 。According to its equivalent electrical model, oscillating displacement responses of micro acceleration sensor to sinusoidal acceleration signal, step signal and constant acceleration signal with feedback are analysed and performance of interfacing circuit is simulated. Results show that measuring range is increased by feedback and performances of interfacing circuits may be optimized.

关 键 词：微机械加速度传感器 等效电路模型 压控电容模型 模拟 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]