微机械加速度传感器及应用  

MEMS Accelerometer and its Applications

作　　者：石庚辰[1] 

机构地区：[1]北京理工大学机电工程系,北京100081

出　　处：《测控技术》2003年第3期5-8,共4页Measurement & Control Technology

摘　　要：叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。The principle,features,current situation and future development of various MEMS accelerometers are described.

关 键 词：微机电系统 微加速度传感器 

分 类 号：TJ430.1[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]