金虎

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文主题：压阻式高线性加速度传感器微机械微机械加速度传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》更多>>
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低量程高线性压阻式微机械加速度传感器被引量：1
《功能材料与器件学报》2001年第2期135-140,151,共7页金虎 陆德仁 沈绍群 鲍敏杭 
介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应...
关键词：加速度传感器 压阻式 横向效应 空气阻尼 微机械 
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